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德國PerkinElmer光譜儀
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一臺典型的光譜儀主要由一個(gè)光學(xué)平臺和一個(gè)檢測系統組成。包括以下幾個(gè)主要部分:
1. 入射狹縫: 在入射光的照射下形成光譜儀成像系統的物點(diǎn)。
2. 準直元件: 使狹縫發(fā)出的光線(xiàn)變?yōu)槠叫泄狻T摐手痹梢允且?立的透鏡、反射鏡、或直接集成在色散元件上,如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。
3. 色散元件: 通常采用光柵,使光信號在空間上按波長(cháng)分散成為多條光束。
4. 聚焦元件: 聚焦色散后的光束,使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像,其中每一像點(diǎn)對應于一特定波長(cháng)。
5. 探測器陣列:放置于焦平面,用于測量各波長(cháng)像點(diǎn)的光強度。該探測器陣列可以是CCD陣列或其它種類(lèi)的光探測器陣列。
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光譜儀的種類(lèi)很多,分類(lèi)方法也很多,根據光譜儀所采用的分解光譜的原理,可以將其分成兩大類(lèi):經(jīng)典光譜儀和新型光譜儀。經(jīng)典光譜儀是建立在空間色散(分光)原理上的儀器;新型光譜儀是建立在調制原理上的儀器,故又稱(chēng)為調制光譜儀。 [1]
經(jīng)典光譜儀依據其色散原理可將儀器分為:棱鏡光譜儀、衍射光柵光譜儀、
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光譜儀應用很廣,在農業(yè)、天文、汽車(chē)、生物、化學(xué)、鍍膜、色度計量、環(huán)境檢測、薄膜工業(yè)、食品、印刷、造紙、拉曼光譜、半導體工業(yè)、成分檢測、顏色混合及匹配、生物醫學(xué)應用、熒光測量、寶石成分檢測、氧濃度傳感器、真空室鍍膜過(guò)程監控、薄膜厚度測量、LED測量、發(fā)射光譜測量、紫外/可見(jiàn)吸收光譜測量、顏色測量等領(lǐng)域應用廣泛。
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光譜儀的透射率或它的效率可用輔助單色儀裝置來(lái)測定。在可見(jiàn)和近紫外實(shí)現這些測量沒(méi)有任何困難。測量通過(guò)單色儀的光通量,緊接著(zhù)測量通過(guò)兩個(gè)單色儀的光通量,以這種方式來(lái)確定*二個(gè)單色儀的透射率。
**測量需要知道單色儀的**透射率:對于相對測量,以各種波長(cháng)處的相對單位可以測量透射率。真空紫外線(xiàn)的這些測量有相當大的實(shí)驗困難,因此通常使用輔助單色儀。在各種入射角的情況下分別測量衍射光柵的效率。在許多實(shí)驗步驟中已成功地避免了校準上的困難。
曾經(jīng)研究過(guò)光柵效率與波長(cháng)、入射角、鍍層厚度、鍍層材料以及其它因素的關(guān)系。所有這些測量都指出,在許多情況下能量損失是非常顯著(zhù)的,并且光柵的效率低于1*,光柵的不同部分可能有明顯不同的效率。
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