aixACCT是您在材料開(kāi)發(fā)和設備鑒定方面進(jìn)行電氣測試的合作伙伴，并通過(guò)提供新的測試概念和系統解決方案縮短了客戶(hù)新產(chǎn)品的上市時(shí)間。產(chǎn)品通過(guò)不斷創(chuàng )新，涵蓋從材料研究到原型測試以及生產(chǎn)過(guò)程中的質(zhì)量保證的整個(gè)范圍。多年來(lái)積累了豐富的設計開(kāi)發(fā)經(jīng)驗以及技術(shù)知識，通過(guò)不斷地研究發(fā)展，為客戶(hù)提供高品質(zhì)的產(chǎn)品及服務(wù)。

產(chǎn)品范圍：

德國aixACCT激光干涉儀、共振分析儀、放大器、傳感器、執行器。

主要型號：

TF 3000、TF 2000 E、TF 1000

相關(guān)產(chǎn)品介紹：

雙光束激光干涉儀

aixACCT Systems已將公認的雙光束技術(shù)擴展到可商用的雙光束激光干涉儀系統，以進(jìn)行長(cháng)達8英寸的晶圓表征。

用于測量d 33的雙光束激光干涉儀（aixDBLI）提供經(jīng)過(guò)驗證的精度（x切割石英），max可達0.2 pm / V。該系統的主要特點(diǎn)是單次測量的采集時(shí)間*為幾秒鐘。基于新的數據采集算法，測量速度提高了100倍。這使得**比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機械數據。由于差分測量原理，**了樣品彎曲的影響，這是使用原子力顯微鏡（AFM）進(jìn)行此類(lèi)測量的主要障礙。

測量:

-機電大信號應變和*化測量。

-壓電小信號系數和介電常數與直流偏置電壓的關(guān)系。如果剛度值已知，則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數。

-電氣和機電性能疲勞。

aixDBLI系統的*特性能使其適用于6“晶片上的MEMS（微機電系統）設備的壓電和電氣可靠性測試。該系統的出色分辨率和可重復性?xún)?yōu)于2％，可大規模生產(chǎn)。整個(gè)裝置包括位于減振室內的光學(xué)組件，TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。

技術(shù)數據:

-解析度:1 pm經(jīng)過(guò)x-cut Quartz測試

-位移/應變測量:50 Hz-5 kHz

               100 mV至10 V

 至25 V（可選）

-壓電d 33系數：

偏壓  ：（1 mHz至1 Hz）

         100 mV至10 V

         至25 V（可選）

小信號：（1 kHz至10 kHz）

          100 mV至10 V

-電致伸縮M 33：類(lèi)似于d 33

-C（V）測量:

偏壓  ：（1 mHz至1 Hz）

          100 mV至10 V

          至25 V（可選）

小信號：（1 kHz至10 kHz）

          100 mV至10 V