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產(chǎn)品中心

聯(lián)系方式
地址:河北省秦皇島市海港區(qū)文化路街道海陽路159-1號博川大廈4層
郵編:066000
電話:400-168-2626
傳真:0335-8062661
E-mail:sales@victortrading.com.cn
網(wǎng)址:www.birdint.com
產(chǎn)品分類

當前所在位置:首頁 > 產(chǎn)品/品牌中心 > 檢測/測量 > 流量檢測 > 流量計

供應AALBORG氣體流量計

  產(chǎn)品特點:性價比高、響應速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護、備總量計數(shù)器
  典型應用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
  設(shè)計特點:
  -剛性金屬結(jié)構(gòu)
  -流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
  -*大壓力500psig(34.5Bar)
  -泄漏率1*10-7氦氣
  -NIST系統(tǒng)標定可追蹤的證明
  -可傾斜的LCD讀表
  -0-5Vdc或4-20mA信號輸出
  -電路保護
  -可用作便攜式的設(shè)備
  -0到100比例顯示
  -可配備流量計算機
  精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力。可選±1%滿量程(標定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。
  重復性:±0.5%滿量程
  回應時間:實際流速±2%超過滿量程25-100一般2秒
  溫度系數(shù):0.15%滿量程/℃
  壓力系數(shù):0.01%滿量程/psi(0.07bar)
  氣體/周圍溫度:32℉-122℉(5℃-50℃)
  輸出信號:0-5Vdc,*小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
  傳感器輸出:+12Vdc;*大200Ω。+24Vdc可選
  時間恒量:800ms


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