美國RENISHAW光柵尺TONiC雷尼紹RENISHAW光柵尺TONiC是RENISHAW一種超小型光柵產(chǎn)品,可讀取各種20 μm柵距柵尺。其主要特征是IN-TRAC?參考零位,只需輕按按鈕即可自動(dòng)調相,十分*特。TONiC系統包含讀數頭、模擬量或數字量接口,以及直線(xiàn)或者圓形增量式光柵。直線(xiàn)柵尺包括RGSZ輕薄型鍍金柵尺、RELM ZeroMet柵尺、RSLM不銹鋼柵尺和RTLC-S自貼式鋼帶柵尺,同時(shí)也提供導軌安裝型FASTRACK RTLC直線(xiàn)光柵系統。圓光柵包括RESM不銹鋼圓光柵和超高精度REXM圓光柵。
工作原理……TONiC采用雷尼紹***一代的*特光學(xué)濾波裝置,與SiGNUM(*13頁(yè))采用的設計類(lèi)似,但作了三大重要改進(jìn)。
***,TONiC設計經(jīng)過(guò)優(yōu)化,信噪比有所提高。光學(xué)濾波系統的這一改進(jìn)加上精選的**電子器件,大帶寬增量信號可達到10 m/s的***速度,同時(shí)也是同類(lèi)光柵中位置抖動(dòng)(噪聲)***的。事實(shí)上,TONiC接口內部的其他抗噪電子器件進(jìn)一步增強了高分辨率型TONiC的抗噪功能,抖動(dòng)水平*為0.51 nm RMS。
*二大改進(jìn)就是開(kāi)發(fā)出了*全集成的參考零位。如圖所示,現在參考零位分離式探測器直接嵌入增量碼道線(xiàn)性光電二*管陣列的**,從而盡量避免出現扭擺失相。
TONiC的*三個(gè)改進(jìn)是將***動(dòng)態(tài)信號調節功能*全集成到讀數頭中,也就是說(shuō)可以直接從讀數頭獲得經(jīng)過(guò)徹底處理的信號,該信號通過(guò)自動(dòng)增益控制和自動(dòng)偏置控制功能進(jìn)行優(yōu)化獲得非常低的SDE (±30 nm)。