光學(xué)掃描型光柵尺或編碼器的測量基準都是周期刻線(xiàn)-光柵。

　　這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長(cháng)度測量用的光柵尺基體為鋼帶。

　　

　　這些*密光柵通過(guò)多種光刻工藝制造。光柵刻制方法有:

　　在玻璃上鍍硬鉻線(xiàn)

　　在鍍金鋼帶上蝕刻線(xiàn)條

　　在玻璃或鋼材基體上蝕刻三維結構圖案。

　　開(kāi)發(fā)的光刻工藝生產(chǎn)的柵距典型值為40 um至4 um。

　　這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外，而且它刻制的光柵線(xiàn)條邊緣清晰、均勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰的刻線(xiàn)是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵。

　　母版光柵采用定制的*密刻線(xiàn)機制造。

　　測量法

　　測量法是指編碼器通電時(shí)就可立即得到位置值并隨時(shí)供后續信號處理電子電路讀取。無(wú)需移動(dòng)軸執行參考點(diǎn)回零操作。位置信息來(lái)自光柵，它由一系列碼組成。單*的增量刻軌信號用于細分處理后得到位置值，同時(shí)也能生成供選用的增量信號。

　　增量測量法

　　增量測量法的光柵由周期性的柵狀線(xiàn)條組成。位置信息通過(guò)計算自某點(diǎn)開(kāi)始的增量數(測量步距數) 獲得。由于*須用參考點(diǎn)確定位置值，因此在光柵尺或光柵尺帶上還刻有一個(gè)帶參考點(diǎn)的軌道。參考點(diǎn)確定的光柵尺位置值可以到一個(gè)測量步距。*須通過(guò)掃描參考點(diǎn)建立基準點(diǎn)或確定上次選擇的原點(diǎn)。

　　有時(shí)，機床需要的運動(dòng)行程很大。為加快和簡(jiǎn)化“參考點(diǎn)回零”操作，許多光柵尺刻有距離編碼參考點(diǎn)，這些參考點(diǎn)彼此相距數學(xué)算法確定的距離。移過(guò)兩個(gè)相鄰參考點(diǎn)后(一般只有數毫米) (見(jiàn)表),后續電子電路就能找到參考點(diǎn)位置。如果光柵尺或編碼器型號后有字母“C"表示是距離編碼參考點(diǎn)(例如LS487C )。